等離子清洗機大概由電源，匹配器，腔體,電磁閥,流量計,外部氣體，真空泵,控制電路組成。當出現(xiàn)故障報警的時候我們應該先根據(jù)屏幕報警提示去查看是哪個部位出現(xiàn)了報警，這樣就確定了故障所存在的大概部位,然后查看相關部位的各個執(zhí)行機構是否出現(xiàn)異常。控制電路的故障直觀z簡單的方法就是萬用表去檢測，檢測是否存在短路或斷路顯現(xiàn)，檢測電壓電流是否正常。如果在沒有萬用表的情況下要排除故障,快速的方法就是替代法了，先根據(jù)屏幕提示大概確定故障存在的部位,然后拿相同的元器件進行替換，如果是電器元件,如交流接觸器，熱過載，中間繼電器，相序保護器，流量計等元件故障的話這樣就很快解決了問題。
 

　　如果是氣體欠壓報警,就得確認相關氣體進氣口是否有氣體接入，氣體的壓力以及調(diào)壓閥、流量計、電磁閥、模擬量接線是否都OK，屏幕參數(shù)的相關參數(shù)設置是否都正確。真空度過高或過低報警時首先得看參數(shù)設置，當真空度過高切參數(shù)設置OK時就得查找腔體及管道是否漏氣、真空泵抽空壓力是否正常，快速的辦法就是用設備自帶的真空度測量儀直接接在真空泵上面測量真空泵的抽空值是否能達到標準，如果真空泵的抽空值正常就就說明真空泵是沒問題的，把測量儀再接到抽空管道上面測量，測量發(fā)現(xiàn)抽空值如果比直接接在真空泵上面高的多時則證明抽空管道漏氣。管道漏氣有可能是管道接頭處漏氣或者是管道破損漏氣。此抽空管道雖然是金屬不銹鋼材質(zhì)的，但是如果每次抽空時管道因為抽空而抖動與周邊某個部位產(chǎn)生摩擦，時間久了，管道也會出現(xiàn)磨損磨破的顯現(xiàn)。如果測量儀接在抽空管道上面測量與直接接在真空泵上面測量的真空值無明顯區(qū)別時則說明抽空管道也是好的，接下來只有在腔體密封性上面查找漏氣部位了，腔體可能出現(xiàn)漏氣的部位是密封條、玻璃窗、抽空接頭與外部鏈接部位、電極-與腔體外部鏈接部位、腔體破空與外部鏈接部位,容易出現(xiàn)漏氣的部位要屬密封條和玻璃窗了。
 

　　電源和匹配器的故障也會在故障觸發(fā)時在屏幕報警窗口示相關提示信息,但有時也會因為參數(shù)設置等原因觸發(fā)誤報信息，這個要根據(jù)情況而分析。當電源或者匹配器出現(xiàn)故障時首先確定參數(shù)設置都是正確的，再檢查接線線路及設定功率輸出的電壓信號是否都正確合理、匹配器和電源之間的串口通訊是否正常,然后手動調(diào)試，如果調(diào)試匹配器的參數(shù)，按下增減按鈕時相關參數(shù)無明顯變化，則說明匹配器故障，調(diào)節(jié)電源功率大小時，電源功率輸出無變化則說明電源故障。